Yêu cầu cốt lõi về vật liệu dành cho vật tư tiêu hao trong phòng sạch là: ít tạo hạt (không bong tróc sợi), dư lượng ion/không{0}}dễ bay hơi thấp (đáp ứng tiêu chuẩn NVR/TOC), đặc tính chống tĩnh điện (chủ yếu là điện trở bề mặt 10⁶–10⁹ Ω), khả năng chống ăn mòn hóa học và khả năng vô trùng/có thể kiểm soát.
Tạo hạt thấp và không bong tróc: Các vật liệu dễ bong tróc-chẳng hạn như bông hoặc giấy thông thường- đều bị nghiêm cấm. Thay vào đó, phải sử dụng -sợi polyester, sợi nhỏ, bọt có mật độ-cao hoặc nhựa tổng hợp chuyên dụng. Cần phải có quy trình hàn kín cạnh bằng siêu âm hoặc laser- để đảm bảo rằng việc giải phóng các hạt Lớn hơn hoặc bằng 0,5 μm đáp ứng các tiêu chuẩn đã thiết lập.
Độ tinh khiết hóa học: Vật liệu phải không chứa silicone, chất huỳnh quang và phthalate. Mức độ chiết xuất-dư lượng không bay hơi (NVR) và tổng lượng carbon hữu cơ (TOC) phải cực kỳ thấp để ngăn ngừa ô nhiễm sản phẩm hoặc lớp phủ quang học.
Kiểm soát tĩnh: Hầu hết các ứng dụng chính xác đều yêu cầu điện trở bề mặt duy trì ổn định trong phạm vi 10⁶–10⁹ Ω (tiêu tán) để ngăn chặn sự hút bụi do tĩnh điện gây ra hoặc hỏng linh kiện; tuy nhiên, một số trường hợp chuyên dụng (chẳng hạn như đóng gói chip) có thể cho phép phạm vi từ 10⁴–10¹¹ Ω.
Kháng hóa chất và độ bền: Vật liệu phải chịu được việc lau nhiều lần bằng cồn isopropyl (IPA), axeton và chất khử trùng có tính axit hoặc kiềm mà không bị phồng, nứt hoặc suy giảm hiệu suất. Các đặc tính vật lý (chẳng hạn như độ bền và độ bền) không được dao động quá ±10% sau nhiều chu kỳ làm sạch hoặc khử trùng.

