Khăn lau phòng sạch siêu mịn quy mô Nano
Khăn lau phòng sạch siêu mịn Weston Nano được thiết kế cho các môi trường được kiểm soát yêu cầu lượng hạt ít phát thải, khả năng thấm hút mạnh và hiệu suất làm sạch đáng tin cậy. Chúng được chế tạo cho các khu vực sản xuất chất bán dẫn và tiên tiến, nơi độ sạch bề mặt ảnh hưởng trực tiếp đến độ ổn định của quy trình.
Những khăn lau này kết hợp sợi polyester/nylon siêu mịn, cấu trúc vải không co giãn và các mép được bịt kín bằng siêu âm để hỗ trợ làm sạch chính xác trong điều kiện phòng sạch ISO 4-5. Kết quả là một lần lau giúp loại bỏ các vết bẩn cứng đầu đồng thời giảm nguy cơ đưa các hạt mới vào.
Tính năng sản phẩm cốt lõi
Cấu trúc sợi nhỏ siêu mịn giúp thấm hút tốt hơn và loại bỏ các hạt lạ hiệu quả.
01
Bề mặt-mật độ cao, siêu mịn giúp giảm sự bong tróc sợi ở cấp độ micron-trong quá trình làm sạch-ở cường độ cao.
02
Vải không co giãn với các mép được bịt kín bằng sóng siêu âm giúp chống rách và giảm thiểu việc tạo ra các hạt.
03
Cấu trúc sợi nhỏ không đối xứng giúp loại bỏ nhanh chóng các vết bẩn cứng đầu, thường chỉ với nước, giúp giảm mối lo ngại về dư lượng IPA.
04
Được làm sạch và đóng gói nghiêm ngặt để hỗ trợ việc sử dụng-ít ô nhiễm nhất trước khi vào phòng sạch.
05
Lợi ích sản phẩm
Những khăn lau này đặc biệt hữu ích khi nhiệm vụ làm sạch liên quan đến thiết bị nhạy cảm, các bề mặt liên quan đến tấm bán dẫn hoặc các khu vực mà việc kiểm soát hạt quan trọng hơn tốc độ. Cấu trúc của chúng được thiết kế để làm sạch mà không dễ bị phá vỡ dưới áp lực.
Vì vật liệu có thể hoạt động hiệu quả với nước nên người dùng có thể giảm sự phụ thuộc vào IPA trong một số bước vệ sinh thông thường. Điều đó có thể hữu ích trong các hoạt động mà việc kiểm soát dư lượng và quản lý hóa chất đều quan trọng.
Sản phẩmThông số kỹ thuật
|
Mục |
Chi tiết |
|
Tên sản phẩm |
Khăn lau phòng sạch siêu mịn quy mô Nano |
|
Thương hiệu |
Weston |
|
Vật liệu |
Polyester / nylon-sợi micro siêu mịn |
|
Cấu trúc vải |
Vải dệt không co giãn |
|
Loại cạnh |
Các cạnh bịt kín siêu âm |
|
Kích cỡ |
8 x 8 cm |
|
Bao bì |
Đóng gói chân không |
|
Gói bên trong |
5 chiếc mỗi gói, đóng gói một chiếc- |
|
Lớp phòng sạch |
Phù hợp với môi trường ISO 4-5 |
|
Sử dụng chính |
Nhà máy bán dẫn và làm sạch phòng sạch tiên tiến |
|
Nút ứng dụng điển hình |
Các nhà máy wafer hoạt động dưới các nút quy trình 10 nm |
Dữ liệu thử nghiệm
|
Mục kiểm tra |
Đơn vị |
Tiêu chuẩn / Phạm vi kiểm tra |
Kết quả |
|
Độ lệch kích thước |
% |
±10 |
Đạt tiêu chuẩn |
|
Độ lệch chiều rộng |
mm |
±3 |
Đạt tiêu chuẩn |
|
Độ lệch độ dày |
mm |
±0.4 |
Đạt tiêu chuẩn |
|
Lực kéo dọc |
N·m/g |
Lớn hơn hoặc bằng 1,5 |
Đạt tiêu chuẩn |
|
Độ hấp thụ |
% |
75.0–90.0 |
80 |
|
Tỷ lệ hấp thụ nước |
lần |
Lớn hơn hoặc bằng 2,0 |
Đạt tiêu chuẩn |
|
độ pH |
/ |
4.0–9.0 |
7.0 |
|
Nước trao đổi |
% |
Nhỏ hơn hoặc bằng 10 |
Đạt tiêu chuẩn |
|
Hạt bụi |
Đếm |
Xem bảng phân tích bên dưới |
Đạt tiêu chuẩn |
|
Dung sai đường kính |
mm |
+50 / -100 |
Đạt tiêu chuẩn |
Phân tích kiểm soát hạt
|
Kích thước hạt |
Giới hạn |
Kết quả |
|
0,2 mm đến 1,0 mm |
Nhỏ hơn hoặc bằng 20 chiếc/m2 |
Đạt tiêu chuẩn |
|
1,0 mm đến 2,0 mm |
Nhỏ hơn hoặc bằng 20 chiếc/m2 |
Đạt tiêu chuẩn |
|
Lớn hơn 2,0 mm |
Nhỏ hơn hoặc bằng 1 chiếc/m2 |
Đạt tiêu chuẩn |
Kết quả xét nghiệm kháng khuẩn
|
Mục kiểm tra |
Phương pháp |
Mục tiêu |
Kết quả |
Phần kết luận |
|
Tỷ lệ kháng khuẩn |
Phương pháp lắc GB/T 20944.3-2008 |
Tụ cầu vàng vàng (ATCC6538) Lớn hơn hoặc bằng 70 |
>99 |
Tác dụng kháng khuẩn được xác nhận |
|
Tỷ lệ kháng khuẩn |
Phương pháp lắc GB/T 20944.3-2008 |
E. coli (8099) Lớn hơn hoặc bằng 70 |
99 |
Tác dụng kháng khuẩn được xác nhận |
|
Tỷ lệ kháng khuẩn |
Phương pháp lắc GB/T 20944.3-2008 |
Candida trắng (ATCC10231) Lớn hơn hoặc bằng 60 |
97 |
Tác dụng kháng khuẩn được xác nhận |
Kịch bản ứng dụng
Những khăn lau này chủ yếu được sử dụng trong phòng sạch FAB bán dẫn, đặc biệt là trong khu sản xuất ISO 4-5. Chúng là sự lựa chọn thiết thực cho các khu vực phải kiểm soát đồng thời việc giải phóng hạt, cặn và tính toàn vẹn bề mặt.
Sử dụng điển hình bao gồm:
- Lau sạch thiết bị wafer trước và sau khi bảo trì.
- Làm sạch dụng cụ và thiết bị cố định ở các khu vực xử lý có-hạt thấp.
- Làm sạch bề mặt xung quanh các buồng xử lý nhạy cảm và khu vực chuyển giao.
- Các tác vụ làm sạch chính xác trong đó ưu tiên-việc lau bằng nước.
- Loại bỏ ô nhiễm định kỳ trong môi trường sản xuất nút dưới 10nm.
Trường hợp sử dụng ví dụ
Trong nhà máy bán dẫn, nhân viên bảo trì có thể sử dụng những khăn lau này để làm sạch bề mặt máy sau khi bảo trì. Cấu trúc lau giúp loại bỏ cặn dầu và chất bẩn mịn mà không dễ dàng làm rơi sợi vào khu vực làm việc.
Trong một ví dụ khác, người vận hành phòng sạch có thể sử dụng-khăn lau thấm nước để làm sạch nhanh bề mặt trên vỏ dụng cụ. Điều này có thể làm giảm nhu cầu sử dụng IPA nhiều lần trong khi vẫn hỗ trợ kiểm soát hạt.
Câu hỏi thường gặp
Chú phổ biến: khăn lau phòng sạch siêu mịn quy mô nano, khăn lau phòng sạch siêu mịn quy mô nano Trung Quốc nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy
